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超声波清洗机的超声波在液体中传播，使液体与清洗槽在超声波频率下一起振动，液体与清洗槽振动时有自己固有频率，这种振动频率是声波频率，所以人们就听到嗡嗡声。随着清洗行业的不断发展，越来越多的行业和企业运用到了超声波清洗机。因为受到辐射的超声波，使之槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下从而保持振动。在这段过程中，气泡闭合的瞬间产生冲击波，负气泡附近产生1012-1013pa的压力及局调温，这种超声波空化所产生的巨大压力能破坏不溶性污物而使他们分化于溶液中，蒸汽型空化对污垢的直接反复冲击。
一方面破坏污物与清洗件表面的吸附，另一方面能引起污物层的疲惫破坏而被驳离，气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗，污层一旦有缝可钻，气泡立刻“钻入”振动使污层脱落，因为空化作用，两种液体在界面迅速分散而乳化，当固体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时，油被乳化、固体粒子自行脱落，超声在清洗液中传播时会产生正负交变的声压，形成射流，冲击清洗件，同时因为非线性效应会产生声流和微声流，而超声空化在固体和液体界面会产生高速的微射流，所有这些作用，能够破坏污物，除去或削弱边界污层，增加搅拌、扩散作用，加速可溶性污物的溶解，强化化学清洗剂的清洗作用。超声波清洗机原理主要是将换能器，将功率超声频源的声能，并且要转换成机械振动，通过清洗槽壁使之将槽子中的清洗液辐射到超声波。 在超声波清洗机下面有超声波发生器，震荡+加热来实现硅片清洗。由此可见，凡是液体能浸到且声场存在的地方都有清洗作用，其特点合用于表面外形非常复杂的零件的清洗。当声压或者声强受到压力到达一定程度时候，气泡就会迅速膨胀，然后又溘然闭合。
